準分子激光剝蝕系統采用精細化控制單元,高能量的“平頂(homogenized-flat)”激光和飛速響應的“邊對邊(shot-to-shot)”技術帶來高分辨率空間分析能力。創(chuàng)新的“動態(tài)剝蝕功能(fire-on-the-fly)”采用高分辨率XY移動平臺技術,同時移動平臺能夠實時觸發(fā)激光的發(fā)射,*應用于線掃描的深度剝蝕和元素分布圖的分析。另外,高分辨率GigE真彩顯微攝像觀察技術,觀察單元光學分辨率小于2μm,提供透射、反射和環(huán)形可調亮度的照明和十字交叉偏振系統,能夠實時顯示實時縮放的動態(tài)寬視野場,實現快速樣品定位導航。結合足夠高的剝蝕能量(50J/cm2),AnalyteHE能夠輕松剝蝕各類樣品甚至是具有挑戰(zhàn)性的物質,包括高純石英、彈性碳酸鹽等樣品,同時光束能量均勻化分布,以確保在整個光斑尺寸范圍內和各種材料上均勻剝蝕。
準分子激光剝蝕系統主要性能參數:
1.超短193nm激光波長
2.脈沖寬度<20ns
3.足夠剝蝕石英及螢石的能量密度,高達50J/cm2
4.密閉氣室
5.激光束能量分布均勻化,剝蝕均勻
6.標配100x100mm移動平臺,可選150x150mm平臺
7.同步“動態(tài)剝蝕功能”實現精確的剝蝕深度控制
8.獨立的視頻和激光光學控制單元,能夠更好的查看樣品剝蝕點
9.剝蝕光斑范圍1-170μm
10.標配30個剝蝕光斑,光斑可定制
11.標配HelExII雙體積雙氣路渦流樣品池
準分子激光剝蝕Geostar軟件,可實現與ICP連接測試,準分子激光最小束斑可達及微米,剝蝕坑底部平坦,形狀規(guī)則,可利用激光共聚焦或原子力顯微鏡測量剝蝕坑體積。